储位自动化清洁系统ASCAuto Shelf Clean)作用对象是玻璃基板收纳盒(CSTcassette),而玻璃基板收纳盒CST是智能仓储系统STK)的组成部分智能仓储系统STK能够通过ASC上的条形码给识别每一个AS,从而安排取放机Crane的机械手臂Fork提取ASC主体,这时ASC就会侦测到这个机械手臂Fork,就开始执行吸尘程序,吸取玻璃基板收纳盒CST里面的尘埃,保证将要被加工的玻璃基板是一尘不染的。

 ASC储位自动化清洁系统测试

ASC储位自动化清洁系统吸尘组分两部分:

     1卡匣与取放机Crane接触位置吸取点

     2卡匣与棚位接触位置吸取点

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     通过STK Crane搬送时机构接触到卡匣前后吸取接触点集尘,减少粉尘颗粒产生进而净化整个STK智能仓储系统内部环境。

ASC储位自动化清洁可选配功能:湿度检测温度检测风速检测震动检测VOC

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此外,可通过无线通讯反馈 ASC 的电量到 CIM,以便及时充电,样板机电量可持续工作8小时。

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ASC储位自动化清洁系统总结如下:

Stocker Crane Fork→Cleaner CST镭射传感器感知Crane Fork→Cleaner CST开始吸取Fork particle 15sec→Cleaner CST开始吸取Shelf load arm 15sec→脱离Fork与Shelf load arm停止

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